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    氣體質量流量控制器


    WARWICK?系列氣體質量流量控制器(MFC)產品是經過實踐驗證的適合多種應用場合的標準產品,流量精準度及性價比高,先進的傳感器和閥控技術,經過實地應用驗證的平臺組件以及高速的模擬/數字線路帶來最精準的氣體流量控制,可以滿足客戶在數值和功能上對于MFC的不同要求。適用于半導體,平板顯示,數據存儲,真空工業,ICP光譜設備及太陽能晶硅制程等不同行業。

    規格

    MC-AN600

    MC-AN601

    MC-AN602

    MC-AN610

    MC-AN611

    量程范圍

    單氣體 2-5000SCCM

    單氣體 5-50SLM

    單氣體   30-200SLM

    單氣體2-5000SCCM

    單氣體  5-50SLM

    閥門類型

    常開式或常閉式螺線管

    接頭

    1/4VCR1/4Swagelok

    密封

    橡膠

    金屬

    響應時間

    到達設定點±2%所需時間≤1SEC

    3SEC

    到達設定點±2%所需時間≤1SEC

    精確性

    ≤滿量程1%

    ≤滿量程2%

    ≤滿量程1%

    線性度

    ≤滿量程±0.5%

    ≤滿量程±1%

    ≤滿量程±0.5%

    重復性

    ≤滿量程±0.2%

    壓差

    7-40PSI

    21-40PSI

    7-40PSI

    漏率

    MAX:1X10ˉ7PA.M3/SECHE

    MAX:1X10ˉ11PA.M3/SECHE

    控制范圍

    滿量程的2-100%

    最高操作壓力

    50PSI

    承受壓力

    最大值150PSI

    通訊模式

    模擬0-5V/4-20MA

    輸入電壓

    +15VDC ±2% at 50MA         -15VDC ±2% at 150MA

    控制信號

    0-5VDC/4-20MA

    輸出模擬信號

    0-5VDC/4-20MA

    功耗

    3.1W

    3.5W

    3.1W

    溫度范圍

    5-45°

    材料

    316LSS,316SS,PTFE,KM45

    重量

    0.9KG

    2.2KG

    1.0KG

    1.2KG

     


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